ISFET

Integrierte pH-Wert-Sensorik

Im Bereich Chemische Sensorik entwickelt das Fraunhofer IPMS Ionensensitive Feldeffekttransistoren (ISFET) für die Detektion von Ionen, Ionenleitfähigkeit und Temperatur in wässrigen Lösungen.

  • Design und Entwicklung von ISFET-Chips und Wafer-Teststrukturen
  • Messtechnische Prüfung und Charakterisierung auf Waferlevel (Modellierung zur Sensorarbeitspunktprognose, Schichtcharakteriserung und Waferbereich-Bewertung)
  • Entwicklung und Design von Aufbau- und Verbindungstechnologien zum Einsatz als Sensor (Modulkonzept) inklusive Untersuchungen und Entwicklungen zur polymertechnischen Isolation von ISFET-Chips und der Bewertung und Prüfung von Sensordichtungen
  • Messtechnische Prüfung und Charakterisierung in wässriger Lösung (pH0-14, 0-95°C) mit der Entwicklung, Erprobung und Automatisierung von Mess- und Charakterisierungsabfolgen
  • Fertigung von ISFET-Chips für die Industrie, Haupteinsatzgebiet ist die Lebensmittelchemie als Halbzellen in pH-Sensoren mit konventioneller Referenzelektrode für erweiterten Einsatz bis 135°C

Einsatzbereiche

  • pH-Sensorik