ISFET

Im Bereich Chemische Sensorik entwickelt das Fraunhofer IPMS Ionensensitive Feldeffekttransistoren (ISFET) für die Detektion von Ionen, Ionenleitfähigkeit und Temperatur in wässrigen Lösungen.

• Design und Entwicklung von ISFET-Chips und Wafer-Teststrukturen
• Messtechnische Prüfung und Charakterisierung auf Waferlevel (Modellierung zur Sensorarbeitspunktprognose, Schichtcharakterisierung und Waferbereich-Bewertung)
• Entwicklung und Design von Aufbau- und Verbindungstechnologien zum Einsatz als Sensor (Modulkonzept) inklusive Untersuchungen und Entwicklungen zur polymertechnischen Isolation von ISFET-Chips und der Bewertung und Prüfung von Sensordichtungen
• Messtechnische Prüfung und Charakterisierung in wässriger Lösung (pH0-14, 0-95°C) mit der Entwicklung, Erprobung und Automatisierung von Mess- und Charakterisierungsabfolgen
• Fertigung von ISFET-Chips für die Industrie, Haupteinsatzgebiet ist die Lebensmittelchemie als Halbzellen in pH-Sensoren mit konventioneller Referenzelektrode für erweiterten Einsatz bis 135°C

• pH-Sensorik